PRODUCT

정위치 자동 정렬장치

EF2A15SUS

EF2A15UPE

용도

- 디스플레이, 반도체, 태양광 산업의 카세트 정렬공정 및 다양한 산업의 정렬공정에 적합

특징

- 에너지 사용없이 대상물 하중으로 구동
- 이동형 정렬장치 구성 편리
- 구동속도 조절기능(옵션사항)
- 안착감지기능(옵션사항)

주요SPEC

가반하중(Payload) 3~300 Kg
Floating Range ± 15 mm
Clamp Stroke 25 mm
Stage 높이조절 0~5 mm
안착감지센서내장 Floating Unit

EFFS15SUS

EFFS15UPE

용도

- 저마찰 수평운동 장치와 안착감지센터 기능이 필요한 곳에 적합

특징

- 협소한 공간에 설치용이
- 정위치 자동 정렬장치와 병행사용 시 비용 감소

주요SPEC

가반하중(Payload) 3~300 Kg
Floating Range ± 15 mm
Stage 높이조절 0~5 mm
Floating Unit

EFFU15SUS

EFFU15UPE

용도

- 저마찰 수평운동 장치

특징

- 정위치 자동 정렬장치와 병행사용 시 비용 감소
- 이동형 정렬장치 구성 편리

주요SPEC

가반하중(Payload) 3~300 Kg
Floating Range ± 15 mm
Stage 높이조절 0~5 mm
내수&내화학용 정위치 자동 정렬장치

EF2A15WSUS

용도

- Wet(세정기,현상기,식각기 등)장비 내의 대상물 정렬 및 녹발생이 우려되는 정렬공정에 적합

특징

- 에너지 사용없이 대상물 하중으로 구동
- 내화학소재 및 후처리 적용

주요SPEC

가반하중(Payload) 3~300 Kg
Floating Range ± 15 mm
Clamp Stroke 25 mm
Stage 높이조절 0~5 mm
내화학 사용범위 중산성~약알카리